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제품정보

요꼬가와는 1915년 창립이래 계측, 제어, 정보기술을 축으로
최첨단의 제품을 산업계에 제공함으로써 사회 발전에 공헌해오고 있습니다.

SMU(소스 & 메저 유닛)

AQ23011A, AQ23012A 프레임

AQ2300 Series Test Platform

고밀도 테스트 시스템을 구축하기 위한 프레임 

AQ2300 시리즈 프레임은 다양한 모듈의 고밀도 측정을 위한 플랫폼입니다. 3-슬롯과 9-슬롯 유형이 있으며 소규모에서 중간 규모의 다양한 반도체 디바이스의 평가 및 제조 시스템에 최적의 측정 솔루션을 제공합니다. LAN, USB, GP-IB 연결로 원격 제어가 가능합니다. 외부 인터페이스로 트리거 I/O 및 Digital I/O를 선택할 수 있습니다. 

 

특징 

R&D부터 생산까지 다양한 어플리케이션이 가능합니다. 


프레임 및 SMU 기능

프레임은 3슬롯 또는 9슬롯 유형으로 제공되며, 중소형 측정 시스템에 유연하게 적용할 수 있습니다. 


 •  2채널 SMU로 최대 18채널 확장 가능

 •  디지털 I/O 인터페이스 선택 가능

 •  3-트리거 동기화 시스템

 •  전압과 전류 동시 측정 가능

 •  단순화된 응답 조정

 •  고속 데이터 전송

 •  채널당 최대 100,000개 지점까지 측정 데이터 저장

 •  채널 간 및 모듈 간 절연

 •  핫 스와프 가능한 모듈



Digital I/O (Factory Option)

외부 장비로부터 작동 시작 신호를 수신하고 작동 종료 신호를 외부 장비로 보냅니다.



디지털 I/O 인터페이스 포트 구성



전압 또는 전류 생성 시작 및 종료 타이밍을 모니터링하기 위해 폴링 작업을 저장합니다.



다양한 트리거 동기화 기능

AQ2300 시리즈 SMU는 프레임 측뿐만 아니라 SMU의 각 채널에도 트리거 포트가 있습니다. 또한 프레임 내 동기화 기능도 제공되므로 연결 방법을 유연하게 선택할 수 있습니다.



프레임을 외부 장비와 동기화


채널을 외부 장비와 동기화


SMU 채널 동기화



더 빠른 데이터 전송 속도

측정 간 시간을 단축하여 운영 효율성을 크게 향상시킵니다. 





적은 수량의  측정 세그먼트

측정 세그먼트 또는 파일 수를 줄이기 위해 채널당 최대 100,000개의 측정 데이터를 저장합니다.




기능 

소스 및 측정 기능

각 슬롯의 각 채널에 대해 다양한 기능 조합이 가능합니다.   


 •  전압 또는 전류

 •  생성 또는 측정

 •  생성 그리고 측정







연결 인터페이스






모델 

외부 인터페이스의 종류와 GP-IB의 유무에 따라 4종류의 라인업이 있습니다.


모델명외부 트리거
I/O 1
외부 트리거
I/O 2
Digital I/OGP-IB
AQ23011A-EDP-N01
AQ23012A-EDP-N01
  
AQ23011A-EDP-C01
AQ23012A-EDP-C01
 
AQ23011A-ETP-N01
AQ23012A-ETP-N01
  
AQ23011A-ETP-C01
AQ23012A-ETP-C01
 



풀 터치 디스플레이 

버튼 조작 없이 풀 터치 조작이 가능합니다.






원격 제어

LAN(1000BASE-T), USB(Type-C)는 기본 옵션입니다.  GP-IB는 선택 옵션이 됩니다. 




외부 인터페이스

트리거 I/O만 트리거 I/O와 Digital I/O, 2종류 중에서 선택할 수 있습니다. (구입 후의 변경은 불가). 



※ Digital I/O사양
외부 기기로부터의 측정 개시 통지, 외부 기기에의 측정 완료 통지를 High 또는 Low의 전압을 이용해 실시하기 위한 인터페이스입니다. 


  •    I/O 단자: 8포트(3.3V/5V-CMOS),  (입력과 출력, High와 Low의 선택 가능)

 •   Vcc 단자: 2포트

 •  GND 단자: 2포트



저장

전면 USB 포트(Type-A), 후면 USB 포트(Type-C)를 이용하여 데이터 불러내기, 저장을 할 수 있습니다.



핫스와프(hot-swap

전원 ON인 채로, 모듈의 교환이 가능합니다.   

AQ23811A SMU 2채널/1슬롯



주요 사양  

• 소스 및 측정 범위: ±6V/±600mA

• 싱크 및 측정 범위: ±6V/±200mA, ±2V/±600m

• 전압 정확도: ±0.02%

• 전류 정확도: ±0.03%(20μA ~ 200mA 범위), ±0.05%(최소 및 최대 범위)

• 출력 파형: DC, 펄스(50 μs ~ 1s) 






SMU 채널 간 동기화

9개의 접속용 버스를 갖추고 있어, 같은 동기 타이밍으로 측정을 실시하는 복수의 채널을 하나의 버스에 할당할 수 있어 최대 9조까지의 구분이 가능합니다.




고품질 펄스 파형

50µs~1s의 폭으로 펄스파를 출력할 수 있습니다. (최소주기는 100µs)




스위프 기능

출력 파형에는 DC와 펄스가 있으며, 각각 연속 출력, 선형 스위프, 로그 스위프 및 프로그램 스위프를 제공합니다.




보다 최적화된 응답 조정

오버 슛과 링잉을 줄이기위한 응답 조정 기능을 갖추고 있습니다.

부하에 걸리는 저항(R), 인덕터(L), 커패시터(C)의 값을 입력하는 것만으로 설정이 간단합니다.  


채널간 절연

채널 간과 모듈 간은 절연되어 있습니다. 




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